本网讯  近日，电信学院组织23级电子科学技术部分学生前往黄山学院信息工程学院开展了为期五天的集成电路工艺制造实训，实训成果显著。

10月30日下午，集成电路工艺制造实习实训开班仪式在黄山学院信息工程学院举行。黄山学院信息工程学院院长吕海江、我校电信学院副院长汪莉丽、安徽青软晶芒微电子科技有限公司副总经理陶羽以及两校相关专业的师生共70余人参加了开班式。开班仪式由安徽省功率集成电路工程中心主任、黄山学院信息工程学院集成电路教研室主任陈珍海教授主持。

吕海江在开班动员讲话中对我院师生的到来表示热烈欢迎，希望学院的工艺线开放能够充分发挥作用，期望同学们在实训中学有所获。陶羽表示，青软晶芒作为联合主办方，将全力支持实训项目，继续发挥自身作用，搭建更多优质平台，促进校企、校校之间的深度合作与资源共享。汪莉丽倡议两校作为安徽集成电路应用型本科人才培养联盟成员应该积极沟通，加强资源共享，她嘱咐同学们在参训期间要严格遵守实验室安全规则，珍惜宝贵的实训机会。陈珍海教授向大家详细介绍了“集成电路工艺制造实习实训”的主要内容，并对相关实训内容进行了深入讲解。

开班仪式结束后，陈珍海教授、杨丹萍老师、铁瑞芳老师和胡学鹿老师带领同学们参观了集成电路文化展廊和工艺实训实验室。在参观过程中，他们详细介绍了集成电路产业的发展历程、国家集成电路发展战略的重大部署、产业发展的关键因素以及实训中使用的相关实验器件等内容。

10月31日至11月3日，在黄山学院信息工程学院胡学鹿老师的指导下，电信学院师生亲自操作实验室内的各种设备，完成了「PN二极管」的制造工艺流程，包括超声波晶圆清洗、方块电阻测量、显微镜观察NP厚度；一次光刻（包括匀胶、烘干、光刻及显影）；湿法刻蚀与刻蚀深度观察；旋涂玻璃胶与高温烧结（用于钝化保护层制作）；二次光刻（涂胶、烘干、套刻、曝光、显影、定影、烘干、SiO2湿法刻蚀）；以及薄膜制备与表征（金属沉积、三次光刻与器件测试）等等，全面体验了集成电路从设计到制造的各项工艺步骤，掌握了相关设备的操作方法与产品质量检测方法。

11月3日上午，参训师生与黄山学院信息工程学院的教师举行了实习实训活动的总结交流会。在会议中，同学们展示了制作完成的作品，分享了个人的参训心得与体会，并对实训过程中遇到的部分技术问题提出了疑问。黄山学院的教师们耐心细致地进行了答疑解惑。

在为期五天的实训中，同学们在专业教师的指导下，亲手操作实验室内的各种设备，体验了从设计到制造的全过程。通过此次实训活动，同学们对集成电路的设计、制造流程有了更深入的理解，也为自己的未来职业道路打下了坚实的基础。

集成电路制造工艺实训是制约当前高校集成电路工艺人才培养的核心瓶颈之一，长期以来存在实验室建设成本高、建设门槛高、使用要求高等问题。本次实训活动中，黄山学院开放四寸真实工艺制造实训平台，校校与校企共同制定了详细的教学计划和实践方案，三方均参与到实训过程中，为学生提供理论和实操指导。本次实训活动是校企之间和校校之间资源融共享的一次教学模式探索，它不仅促进了校企之间的紧密合作，还推动了校校之间教育资源的优化配置，对于提高集成电路人才培养质量具有重要意义。（文/图：周春 王雨博；一审：杨玲；二审：汪莉丽；三审：孙长城）